操作面高

1000±20mm（配套贴合机设备高度）

外形尺寸

1280mm（L）×1200mm（W）×1900mm(H)（主机尺寸）

清洗方式

二流体清洗+高速离心脱水

产品规格

L:150-260mm； W50-80mm；

产品厚度

0.5-1.5mm

转盘规格

Φ520-φ630mm（按产品规格定制）

控制方式

联机兼容单机

上料方式

层式弹匣×3

前端联机方式

轮式轨道自动接料

后端联机方式

模组自动送料

生产节拍

UPH﹥1500（按单板24计算）

清洗精度

无外部二次污染情况下,清洗1μm及以上的 Particle颗粒;清洗良率99%以上

纯水消耗量

≤7L/Min

纯水供应要求

压力>0.3Mpa;流量>10L/in;电阻率>17MΩcm

气体消耗量

50-180L/Min

气源供应

0.45-0.7Mpa;过滤度在0.01um/99.5%以上超洁净压缩空气,残留油<0.1ppm;含水量:压力露点-40℃

空气过滤器精度

一级:0.3umx1;二级:0.01μm×1+油雾分离

电源

AC380V50HZ(峰值功率6kW)

清洗盘转速

50-1500RPM

清洗压力

3.8-10Kgf/cm²

换型号参考时间

≤10Min