◎可更换4- 12寸的清洗吸盘;
◎操作程序可按作业需求编写调整,设备运行流程、清洗时间及各项参数可自行编制;
◎设备运行状态及参数在线实时监控;
◎清洗中纯水与二流体可以自动切换;
◎该设备配有泵浦，清洗压力均衡，清洗效果稳定;
◎自动门配有安全光栅，保证操作安全;
◎采用真空吸附式清洗盘，晶元夹具的取放更安全、方便;
◎摆臂式清洗,清洗范围可编制,适用范围广、无清洗盲区、无二次污染,清洗效果更佳;
◎设备清洗室全密封，且配有自动挡水圈，有效防止二次污染;
◎高速离心设计，转速可调节0-2500R/Min;
◎配备独特的静电消除装置，辅助清洗达到最佳效果，可选择使用氮气;
◎设备配有大面积透明观察窗;
◎缩减宽度的省空间设计，结构紧凑，占用空间小;
◎整机镜面不锈钢机身，能耐酸碱，对工作环境无污染，镜面机壳易于保养。