部件名称

品牌/型号

部件名称

品牌/型号

机柜

3mm钢板+垂纹漆工艺

D/A转换模块

OMRON DA模块

外观颜色

整体喷塑7035

A/D转换模块

OMRON A/D模块

外形尺寸及重量

长×宽×搞=1240mm×750mm×1710mm（上中下结构）

长：正面 款：进深 高：上下

控气电磁阀门

1组1

真空工作室

20mm厚合金铝材

890mm×450mm×320mm

气路减压阀门

1组1

质量流量计

1组北京七星华创气体流量计

托盘

10层 最大生产产品尺寸：

830mm×420mm×5mm

变频器

台湾士林

真空机组

鲍斯BSV90

密封结构

独特双密封结构

真空表

Leybold（德国莱宝）皮拉尼真空计

控制软件

等离子处理专用控制软件

真空管路

全不锈钢管道+高强度真空波纹管

电源

国产电源（13.56MHZ射频发生器，01000W可调）

人机界面

OMRON触摸屏

真空工作室门

25mm铝合金整体门

可编程控制器

OMRON PLC

温度控制模块

OMRON 温度模块

效率

180S-360S/次

水滴角

低于15º

有效时间

8-10H

气体

氮气